・採用白光干涉技術，可進行非接觸式高精度微細表面性狀量測，支援 3D 形狀測定與 3D 粗糙度測定。
・高度測定精度不受光學倍率影響，即使使用低倍率鏡頭，亦可維持高 Z 軸解析度。
・支援高深寬比量測，透過不依賴光學系 NA 的檢測方式，可對應高深寬比形狀測定需求。
・具備優異的抗外部振動能力，可提升量測穩定性。
・小型輕量設計，便於設備整合與導入。

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Product Description01

白光干涉光學模組 WLI UNIT

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