半導體製造中，Shower Head（噴淋頭）是一種關鍵的氣體分配裝置，其主要用途是將製程中的反應氣體均勻地分佈到反應腔室（晶圓表面），確保薄膜沉積或刻蝕過程的均勻性、準確性和穩定性。
微孔的形狀/徑值/真圓度...等影響氣流，確保晶圓表面獲得均勻的氣體接觸，進而提高晶圓的製造質量、良率和生產效率必須透過精密量測來掌控整個部品的品質與性能。
